某國(guó)產(chǎn)手機(jī)芯片企業(yè)表示它已搞定14納米以上的EDA工具全國(guó)產(chǎn)化,純國(guó)產(chǎn)芯片變成現(xiàn)實(shí),如此也就說明國(guó)產(chǎn)的28納米光刻機(jī)已投入生產(chǎn)線,28納米光刻機(jī)對(duì)于國(guó)產(chǎn)7納米具有獨(dú)特的意義,實(shí)現(xiàn)7納米的國(guó)產(chǎn)化有了希望。

國(guó)產(chǎn)28納米光刻機(jī)其實(shí)早在2021年就已通過技術(shù)驗(yàn)證,隨后開始進(jìn)一步完善,不過由于眾所周知的原因,28納米光刻機(jī)投入生產(chǎn)采取了低調(diào)的態(tài)度,直至如今傳出14納米芯片的量產(chǎn),證明28納米光刻機(jī)已投入生產(chǎn)線。

28納米光刻機(jī)其實(shí)同樣可以用于14納米工藝生產(chǎn),通過雙重曝光技術(shù)就可以實(shí)現(xiàn)7納米工藝的量產(chǎn),當(dāng)年臺(tái)積電都采用過類似的技術(shù),直到ASML推出14納米光刻機(jī)才將14納米轉(zhuǎn)用14納米光刻機(jī),降低成本、提高效率;后來臺(tái)積電同樣以14納米光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)了7納米工藝的量產(chǎn),再進(jìn)一步引入EUV光刻機(jī)量產(chǎn)7納米EUV工藝。

28納米光刻機(jī)對(duì)于先進(jìn)光刻機(jī)來說是一個(gè)重要門檻,在28納米以上的工藝主要采用干式光刻機(jī),而28納米之后采用Arf浸潤(rùn)式光刻機(jī),此后一直到7納米工藝都在采用Arf浸潤(rùn)式光刻機(jī),這就意味著28納米到7納米光刻機(jī)的技術(shù)是相通的,國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)了28納米Arf浸潤(rùn)式光刻機(jī)就代表著國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)達(dá)到了一個(gè)新的高度,7納米光刻機(jī)量產(chǎn)的時(shí)間也就快了。

國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的發(fā)展補(bǔ)上了國(guó)產(chǎn)芯片制造技術(shù)的最后短板,此前芯片制造的八大環(huán)節(jié)都已達(dá)到14納米,刻蝕機(jī)更是達(dá)到5納米,另外光刻膠也已達(dá)到5納米,可以說芯片制造的諸多環(huán)節(jié)都已為14納米國(guó)產(chǎn)化做好了準(zhǔn)備,隨著28納米光刻機(jī)投入生產(chǎn)線,完全國(guó)產(chǎn)化的14納米工藝也就成為現(xiàn)實(shí)。

受制于美國(guó)的芯片規(guī)則,美國(guó)從光刻機(jī)到光刻膠等芯片設(shè)備和材料限制中國(guó)芯片制造的發(fā)展,導(dǎo)致國(guó)產(chǎn)芯片制造不受限制的芯片制造工藝停留在28納米,考慮到這個(gè)現(xiàn)實(shí),國(guó)產(chǎn)芯片制造一直在力推28納米工藝。

國(guó)內(nèi)最大的芯片制造企業(yè)中芯國(guó)際大舉推進(jìn)的芯片制造工藝就是28納米,它當(dāng)前在建的四座芯片工廠都是28納米工藝,28納米工藝已能滿足國(guó)內(nèi)七成的芯片需求,而且28納米具有成本低的優(yōu)勢(shì),而國(guó)產(chǎn)芯片自給率才達(dá)到四成,28納米工藝產(chǎn)能的擴(kuò)張為國(guó)產(chǎn)芯片實(shí)現(xiàn)2025年七成的自給率提供了支持。

不過國(guó)產(chǎn)芯片仍然需要更先進(jìn)的工藝,畢竟手機(jī)芯片、PC芯片等都需要先進(jìn)工藝提供更強(qiáng)的性能、更低的功耗,不過美國(guó)卻從去年下半年開始不斷加強(qiáng)對(duì)中國(guó)的光刻機(jī)供應(yīng)限制,限制ASML對(duì)中國(guó)出售14納米光刻機(jī),先進(jìn)芯片制造工藝就成為中國(guó)芯片努力打破的瓶頸。

如今國(guó)產(chǎn)28納米光刻機(jī)的投產(chǎn),代表著國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈的進(jìn)一步完善,中國(guó)也將成為全球的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈最完善的國(guó)家,ASML是全球?qū)嵙ψ顝?qiáng)的光刻機(jī)企業(yè),然而ASML所在的荷蘭僅能提供光刻機(jī)15%的配件,光刻機(jī)其他八成多的配件需要全球30多個(gè)國(guó)家、5000多家企業(yè)供應(yīng),而中國(guó)卻能靠自己一己之力打造了較為完善的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈,可見這幾年國(guó)產(chǎn)芯片的突飛猛進(jìn)。

美國(guó)這幾年的做法促進(jìn)了中國(guó)芯片行業(yè)的大發(fā)展,美國(guó)限制供應(yīng)存儲(chǔ)芯片、射頻芯片、GPU芯片等,中國(guó)短短3年時(shí)間就打破了這些芯片的空白;美國(guó)限制芯片設(shè)備的供應(yīng),中國(guó)芯片設(shè)備行業(yè)就在數(shù)年時(shí)間完善了自己的芯片產(chǎn)業(yè)鏈,可以說美國(guó)的做法逼出了中國(guó)科技的潛力,加速了中國(guó)科技的發(fā)展,進(jìn)而形成中國(guó)的技術(shù)體系,這出乎美國(guó)的意料。


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